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当前位置：首页 > 产品中心 > > HORIBA（过程&环境） > auto seAuto 色新型相调制椭圆偏振光谱仪
详细介绍
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Auto 色是一种新型的按键式全自动薄膜测量分析工具，简单的几个按键操作，即可完成全自动测量和分析。
几秒钟可完成样品分析，并提供完整的样品堆叠特性报告-包括薄膜厚度、光学常数、表面粗糙度和薄膜的不均匀性。
Auto 色 是一种高性能系统，它包括XYZ自动样品台、测量点实时成像和光斑尺寸自动选择功能，其各种各样的附件可满足用户对多种应用的需求。
Auto 色借助完整的操作向导，自动检测并诊断问题、同时提供完整的操作指南，实现对故障进行轻松处理。
便捷的操作性能和大量自动化特性，使得 Auto 色 成为一种可用于常规薄膜测量和质量控制的设备。
Auto 色 集成了*的MyAutoView光斑可视系统（技术），该系统配备在标准椭圆偏振光谱仪中。
MyAutoView允许操作者全程观测样品光斑，以确保各种类型的样品都能在*正确的位置，以合适的光斑尺寸进行测量。
Auto 色 所提供的图像有大约1毫米的视场和10微米的分辨率,这对于大多数测量来说是非常必要的。
样品类型 | MyAutoView光斑可视系统的优点 | 举例 |
图形化样品 | 对图形区域上的测量光斑直接观测. |
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玷污样品 | 直接观测样品上的测量光斑，以便选择合适测量位置. |
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透明样品 | -只有前反射时，直接选择 |
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粗燥样品或不均匀表面的样品 （有条纹、瑕疵） | 直接观测样品的测量光斑，以便选择合适测量点. |
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微结构样品 | 直接观测样品上能够表示0.8mm的细线特征的测量光斑. |
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圆柱状或球形的样品 | 直接观测在这种区域上用于光斑定位的平面。右图显示，光斑大小没有被优化到适合椭圆偏振的测量. |
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放在液体池、控温台等附件里的样品 | 对于放在液体池里的样品，测量定位变得非常容易（图示样品）. |
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技术参数：
光谱范围：440-858nm
光斑尺寸： 500 µm x 750 µm; 500 µm x 500 µm; 250 µm x 500 µm; 250 µm x 250 µm; 70 µm x 250 µm; 100 µm x 100 µm; 50 µm x 60 µm; 25 µm x 60 µm
测试时间：通常为5秒，可小于1秒
准确度：NIST 1000 Å SiO2 /Si: d ± 4 Å - n（632.8 nm） ± 0.002， Fu色d silica: n ± 0.004
观测样品： CCD-视场范围1.33*1mm，分辨率1µm
重复性：± 0.2 Å （测试条件 NIST 150 Å SiO2 /Si ）
样品台尺寸：200mmX200mm；XYZ方向自动调节；真空检测；Z轴高度50mm
探测器：CCD-分辨率：2nm
测角仪：固定在70度，可预设为66度或者61.5度
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